技术方案

一、系统介绍及描述

该套真空校准装置，是我司专利产品（专利号：ZL 2016 1 1093790.8），采用高精度电容薄膜规作为计量标准，通过提取真空脉冲信号送入PLC进行数据处理，达到真空稳定输出保持的目的，独创的真空稳定单元*，可以快速的将真空输出量稳定到目标真空度，计量更加精确。另外，本装置不需要另外连接氮气来使用，可在线同时检测4个（或订制为最多8个检测位）真空传感器，且互相不干扰，目标真空度可以通过触摸屏在量程范围内任意设定，极大提高了便利性。

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* 真空稳定单元：能够根据真空仓内的真空度快速改变真空回升装置、真空补抽装置的工作状态，使装置的稳定度控制在2%以内，满足规范的要求。        

AUC-ZK01真空校准装置的特点:

1，真空应用技术优势，精确的数据处理能力；

2，操作简单，易于掌握；

3，目标值在范围内可任意设定，并可快速稳定至目标值；

4，采用德国INFICON进口电容薄膜规，获得精确的计量数据；

5，真空稳定性能突出，100Pa以下优于2%，100Pa以上优于1%；

6，可同时检测4~8个真空传感器，被检传感器之间互不影响；

7，整机尺寸较小，真空舱可快速分离，保障了整套装置的运输；

8，配置有信号输入输出接口，便于在线检测传感器以及读取标准传感器信号；

9，供电电源220V±10%，保障了宽电压量程使用；

10，检测效率高，任一真空值之间稳定时间约（1~10）min，大部分测量点可以保证2min内稳定；

11，不需其他任何装置即可正常工作（尤其不需要外接氮气）；

12，可同时检测不同类型的传感器；

13，现场复杂环境下能够正常工作。

二、工作过程

AST-ZK01真空校准装置采用爱发科GLD-N051型真空泵保证1L/s的真空速率，采用两支INFICON CDG025D型电容薄膜规作为计量标准确保较高的计量准确度，配合自身研发的真空稳定装置实现量程范围内任一真空度的快速稳定工作。设备的操作十分简单：

1)接通220V电源并按下开机按钮开机运行，预热30min（有效的预热可以更好的保证真空度的稳定输出）；

2)通过便捷卡箍快速安装被检传感器至相应检测位；

3)根据被测点的需求，通过触摸屏快速设定目标真空度，装置将自动运行至目标值；

4)示值稳定后（根据目标真空度的数值，通常2min左右达到稳定状态，个别检测点时间略长但一般不超过10min），记录被检仪表的示值（或测量信号）及真空校准装置的显示值，连续记录3次（根据规范要求结果取3次的均值）；

5)通过触摸屏继续设置下一个校准点，依次进行校准，直至所有检测点检测完毕；

6)检测完成取下被检传感器，可直接进行下一批次的传感器的检测；

7)设备使用完成后直接按下停机按钮即可，如需将设备分离以便运输，需首先将标准传感器的卡箍打开并取下传感器放置于设备存储盒中，然后打开真空舱底部的卡箍即可实现快速分离，真空舱取下后务必将连接口处使用盲板进行封闭，以避免杂质进入。

三、真空校准装置基本结构

1、AST-ZK01是一套整体的用于真空传感器检测的校准装置，主要包含以下结构：

1)内部装备爱发科GLD-N051型真空泵，真空速率1L/s，确保整个真空检测快速高效；

2)真空稳定单元由0.1ms级电磁阀组（采用德国优质品牌）及管路组件等装配而成（专利结构）；

3)采用球体真空舱，真空舱的容积为14L，完全满足规范中对真空舱容积的要求；

4)多检测工位可以同时检测4~8支被校传感器，标准传感器为二工位；

5)设备上平面开有存储盒，便于电容薄膜规及管路连接件的存放；

6)分体式结构，真空舱可以非常快速的与主机实现分离，便于远程运输及狭小空间存放；

7)机箱底部安装有四个性能良好的万向轮，万向轮带自锁装置，可以在任意位置锁住，机箱上装有便于搬运的拉手，便于现场检测环境中的移位。

2、设备的电控系统

1)全套三菱电机的可编程控制器及彩色触摸屏，数模转换模块；装备ZK-A1版软件，经千余支真空传感器的实际检测验证，完善的控制技术，以保证系统功能的完善和强大；

2)施耐德电气开关组件；

3)事故急停开关

4)触摸屏的建立，使各项信息处理都在屏上进行。

5)设置有信号采集及输出接口，便于数据的准确传递。

1.电容薄膜规                             2.卡箍

3.真空舱                                4.被测传感器接口

5.真空舱连接口                          6.移动把手

7.真空稳定单元                           8.存储盒  

9.机箱                                  10.真空泵

四、技术参数

（1）电源：AC220V±10%   50HZ

（2）功率：300W

（3）控制电压：DC24V

（4）工作环境：（15~35）℃     50%RH以下

（5）测量范围：（1~10000）Pa

（7）分辨率：10Pa以下0.01Pa；100Pa以下0.1Pa；1000Pa以下1Pa；10000Pa以下10Pa

（8）真空稳定性：100Pa以下优于2%，100Pa以上优于1%；

（9）电容薄膜规准确度：±0.2%读数

（10）真空速率：1L/s

五：各典型点真空稳定时间（测试条件：20℃/40%RH,具体时间可能根据环境温度等情况略有区别）：

六、设备主要部件

七、安装、调试和培训

供方负责安装、调试和培训，使用户完全掌握设备的使用和维护。

八、一年备件和易损件

供方提供必要的备件和易损件。

九、设备价格及付款方式: 按报价单

十、 售后服务

设备自验收结束后一年内属于免费保修期，一年后提供终身维修服务。

十一、商标保护及商业机密

       未经供方明确许可，请勿将我们的任何文件转交、复制给第三方。我们保留专利和注册设计的所有权利。